设备功能介绍：本设备主要用于晶体硅太阳能电池制造中硅片的扩散掺杂。扩散是半导体工艺生产中的一种关键工艺，通过扩散所形成的PN结，就是晶体硅太阳能电池的核心。应用产品型号：MSST10-Q-RN、23HS3002-29、STM23S-3RE、23HS3811-04产品应用介绍：热扩散炉用2个MSST10-Q-RN、2个23HS3002-29;(PECVD用1个STM23S-3RE、1个MSST10-Q-RN、1个23HS3811-04)步进电机用于驱动图中四个黑框里的?？樯舷?、前后移动，一个电机装在?？樯?，通过变速箱+丝杠带动?？樽錾舷略硕桓龅缁üご?滚珠丝杠带动?？樗皆硕?。设备中共有四个工控机，每个工控机控制两个驱动器(一个?？?。目的是送料进入炉中，或从炉中取料出来。应用环境参数：负载：同步带负载，长度3米。上位机：研祥工控机，控制模式：主机控制模式，SCL语言编程，客户自己编写程序;RS485通讯，两轴控制，无需插补运动;正反转限位提供机械?；?电源：24V开关电源;细分：20000 step/rev;速度：300rpm;动作，低速往复运动，运行10分钟，静止1小时。客户选用的原因：主机编程控制，实现全数字化控制，抗干扰能力强。
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